主要特点
① 能够确保与PECVD石墨舟承载车准确定位;
② 采用SUS304不锈钢制造,整机结构坚固可靠;
③ 采用GK系列高效空气过滤器;
④ 净化风机噪音小于50dB;
⑤ 保证工作区域内所达到工艺的洁净度。
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更新日期2022-11-28 14:02
品牌: |
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所在地: |
江苏 南京市 |
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有效期至: |
长期有效 |
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