■主要性能指标
◆12对加热棒
◆年产30-50吨
◆纯度9-12N
◆转化率：86%
◆电耗：50度每公斤
■技术指标
◆硅烷法多晶硅生长设备主要用于电子级多晶硅的生成，其主要是利用硅烷热分解法生产纯度较高的电子级多晶硅产品。
◆硅烷热分解法硅烷（SiH4）是将制得的硅烷气提纯后在热分解炉生产纯度较高的棒状多晶硅。
◆设备的主要组成部分有：气源部分、反应室、真空系统、尾气处理部分和安全保护部分。
◆气源部分主要是提供多晶硅生长的原材料，以及对反应室和气路部分的吹扫等功能。
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更新日期2022-11-28 14:05
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山东 青岛市 |
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长期有效 |
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