一、用途 用于BN系列产品用SiO2、SiN4、多晶硅、磷、硼等衬底的表面处理。二、主要特征 无色透明液体。其作用是将亲水基片表面转化为疏水表面,以增强胶膜与基片表面的粘附能力。三、理化指标 将待处理的基片放在本产品中浸泡20分钟,然后在200℃下烘30分钟,冷却室温后即可涂胶。五、包装 棕色瓶,500mL﹑1000mL,按MOS包装要求六、储运条件 本产品易燃,易吸潮,应存放在干燥、阴凉处,远离火源及高温。
表面处理剂 | 表面处理剂-Ⅱ型 | |
外观 | 无色透明液体 | 无色透明液体 |
六甲基二硅胺烷质量分数,% | 30.0±1.0 | ≥98.5 |
水份质量分数,% | ≤0.1 | ≤0.2 |
≥5μm颗粒,个/mL | ≤27 | ≤27 |
单项金属杂质,% | ≤0.0001 | ≤0.0001 |