采用***新DepoE技术制造的管式PECVD用于晶体硅太阳能电池制造中电池片的减反射膜生长。PECVD的镀膜效果直接关系到电池片的***终转换效率与电性能参数，管式PECVD是电池片减反射膜生长质量相对较好的设备。
优秀的钝化作用
工艺稳定、镀膜均匀
石墨舟无污染全自动装载
成本低、产量大
操作简洁、易于维护
设计紧凑、占地面积小
除此之外，该设备还可以根据工艺能力、产能和自动化水平进行多种配置。
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更新日期2022-11-28 14:18
品牌： |
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所在地： |
江苏 南京市 |
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有效期至： |
长期有效 |
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