WJ-200A是针对集成电路及太阳能电池级硅片、外延片、扩散片载流子寿命的扫描测试系统。可三维运动扫描整个测试样品,专用测试软件更人性化,操作简单,可绘制寿命测试结果分布彩图、数据分析等高图、曲线图。
技术参数:
寿命测量范围:0.25μs-10ms;
电阻率测量范围:≥0.1-1Ω·cm;
***大可测样品尺寸:300×300mm(可根据用户需求订制);
扫描分辨率(mm):0.5、1、2、4、8、16;
***大可测样品厚度:≤10mm;
寻边方式:微波自动寻边;
微波频率:10GHz;
红外激光波长:905nm;
脉冲频率:≈40Hz;
脉冲宽度:80-200ns可调;
测量重复性:短期不确定度优于±10%;
每点测量时间:0.6sec(含探头移动及及数据采集计算时间)。