激光椭偏仪(PH-LE)

  多角度激光椭偏仪(PH-LE型)专门针对晶硅太阳能电池绒面上的减反膜测量，能够测量薄膜厚度及其光学常数，使用632.8nm波长氦氖激光器，具有极高的精确度和准确度。

产品特点：

■ 可以测量单晶电池片、多晶电池片

■ 可以测量抛光片，精确度和准确度极高

■ 可以测量粗糙表面的“绒片”

■ 适用于对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的低反射光强进行测量

■ 可对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的退偏因数（偏振因数）进行测量和评估，提高测量精度

■ 配置有高稳定度补偿器，提供***小的漂移值和***小的测量误差

■ 配置有高精度的自动光学对准显微镜

■ 可进行20°－90°范围内的多角度测量

测量特点：

■ 非破环性检测

■ 样品准直简单方便

■ 测量速度快

■ 可变入射角范围宽

■ ***测量

■ 软件分析功能强

技术指标：

■ 光源：He-Ne激光器

■ 光斑直径：1-2mm

■ 入射角范围：20°到90°,5°/步

■ 精度：0.002°~ 0.02°

■ 膜厚精度：0.01mm，对100nmSiO2on Si

■ 折射率精度：0.0005，对100nmSiO2on Si

■ 激光光斑：直径1mm

■ 激光波长632.8 nm

典型客户： 美国，欧洲，亚洲及国内太阳能及半导体客户。