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商品信息

基本参数

详细说明

硼磷含量测试仪

产品型号：进口

功能特点
该测试仪可以准确的测出硅料中硼、磷等多达70多种杂质的含量。能够进行定性及定量分析，能实现一次进样多元素同时分析，分析软件及数据处理系统便于操作，功能强大。
技术指标
■ 可编辑的分析条件和分析数据文件 ■ 可创建定量分析和定性分析必须的测量条件 ■ 可完成定量和定性分析 ■ 可处理和确定从各种分析中获得的数据 ■ 可脱机使用软件，随时查看数据库资料，修改参数分光系统 ■ 波长范围 175nm～800nm ■ 分光单元全息凹面衍射光栅：焦距20cm ■ 中阶梯平面衍射光栅：焦距30cm ■ 检测器进口双光电倍增管 ■ 光学分辨率 0.006nm(194nm) ■ 波长驱动装置进口步进电机，*小步距：0.0003nm 高频电源 ■ 发生器它激式电子管光源，负高压增益自动调节，自动匹配，自动点火 ■ 工作频率 40.68MHz ■ 输出功率 (0.6~1.2)KW(可调) ■ 输出频率稳定性 ≤ 0.01% ■ 输出功率稳定性 ≤ 0.1% ■ 电磁场泄露强度距机身30cm处，电场强度≤1.5V/m，磁场强度≤0.15A/m 仪器整体性能 ■ 精密度 RSD ≤2% ■ 波长示值误差 ±0.001nm ■ 波长重复性 ≤0.002nm ■ *小光谱带宽 Mn257.610nm 半高宽≤0.01nm