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太阳能级硅少子寿命测试仪

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更新日期2022-11-28 14:35

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太阳能级硅少子寿命测试仪
功能特点:本设备是按照国家标准GB/T1553“硅单晶少数载流子寿命测定的高频光电导衰减法”设计制造。高频光电导衰减法在我国半导体集成电路、晶体管、整流器件、核探器行业已运用了三十多年,积累了丰富的使用经验,经过数次全国十多个单位巡回测试的考验,证明是一种成熟可靠的测试方法,特别适合于硅块、硅棒的少子体寿命测量;也可对硅片进行测量,给出相对寿命值。方法本身对样品表面的要求为研磨面,因此制样特别简便。
 产品特点  
■ 可测量太阳能级多晶硅块、单晶硅棒少数载流子体寿命。表面无需抛光,直接对切割面或研磨面进行测量。
■ 可测量太阳能级单晶及多晶硅片少数载流子的相对寿命,表面无需抛光、钝化。
■ 液晶屏上直接显示少子寿命值,同时显示动态光电导衰退波形。
 
 技术参数  
配置两种波长的红外光源
■ 1.07μm波长红外光源,光穿透硅晶体深度较深≥500μm,有利于准确测量晶体少数载流子体寿命。
■ 0.904~0.905μm波长红外脉冲激光器,光穿透硅晶体深度较浅≈30μm,但光强较强,有利于测量低阻太阳能级硅晶体。
测量范围
■ 研磨或切割面:电阻率≥0.5Ω·㎝的单晶硅棒、定向结晶多晶硅块少子体寿命,切割片的少子相对寿命。
■ 抛光面:电阻率在0.1~0.01Ω·㎝范围内的硅单晶、锗单晶抛光片。
寿命可测范围
■ 分体式: 2μS—10ms
■ 一体式: 0.5μS—20ms
 
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