硅片电阻测试仪

测量范围 
■ 可测电阻率：0.0001～1.9*104Ω·cm

探针
■ 使用几何尺寸十分精确的红宝石轴套，确保探针间距的恒定、准确。
■ 控制宝石内孔与探针之间的缝隙不大于6μｍ，保证探针的小游移率。
■ 采用特制的S型悬臂式弹簧，使每根探针都具有独立、准确的压力。
■ 量具精度的硬质合金探针，在宝石导孔内稳定运动，持久耐磨。

恒流源 
■ 输出电流：DC 0.001～100mA 五档连续可调 
■ 量程：
    0.001～0.01mA
    0.01～0.10mA
    0.10～1.0mA
    1.0～10mA
    10～100mA
■ 恒流精度：各档均低于±0.05%

直流数字电压表
■ 测量范围：0～199.99mV
■ 灵敏度：10μV
■ 基本误差：±（0.004%读数+0.01%满度） 
■ 输入阻抗：≥1000ΩM

供电电源 
■ AC 220V±10% 50/60 Hz 功率：12W

使用环境 
■ 温度：23±2℃ 相对湿度：≤65%
■ 无较强的电场干扰，无强光直接照射

重量、体积
■ 主机重量：7.5kg
■ 体积：365×380×160（单位：mm 长度×宽度×高度）