■ 产品用途
本机主要功能是将硅片自动装入到专用花篮中。使用本机可以大大降低碎片率,减少手跟硅片的接触,避免了人为因素对硅片的污染,有效的提高了成品率和转换率。
本机托盘兼容156mm×156mm和125mm×125mm两种花篮格式,通过花篮下方传感器检测,不需任何操作即可自动实现单篮或双篮工作。
■ 技术指标
◆ 适用尺寸:
156 mm×156 mm(±0.5mm);
125 mm×125 mm(±0.5mm)
◆ 厚度为:160um~280 um
◆ 装片效率:2280片/小时
◆ 碎片率:≤3/10000
◆ 电源:220V/50Hz
◆ 整机功耗:<500W
◆ 外型尺寸:
1030mm×1030mm×1100mm
◆ 操作方式:全自动
■ 产品特点
◆ 非接触搬运硅片
◆ 不会在硅片上留下吸痕
◆ 不需要维护
◆ 不会弄脏吸附面
◆ 吸附力稳定可靠