等离子增强化学气相淀积设备(PECVD)

■技术指标

◆每管***大装片量：320片/舟（125*125）252片/舟（156*156）

◆工艺指标：片内±3%，片间±3%，批间±3%

◆控制：全进口自动压力闭环调节系统，精准控制反应真空；40KHzAE高频电源；工艺舟软着陆；全数字式控制，完善安全的过程控制保护。

◆1管、2管、3管、4管分别可选；自动装载机械手可选，设备性能、工艺性能可与进口设备媲美。

■类型

◆装片数量：

320片/舟（125*125）252片/舟（156*156）

◆净化台洁净度：100级（10000级厂房）

◆自动化程度：自动控制温度及工艺过程。

◆送取片方式：软着陆式：其特点平稳可靠、

无爬行、定位准确、承重量大、使用寿命长。

■设备特点

◆用工控机对工艺时间，温度，气体流量，阀门

动作，反应室压力实现全自动控制。

◆采用进口压力控制系统，闭环系统，稳定性高。

◆采用进口耐腐蚀不锈钢管件、阀门，确保气路

气密性。

◆具有完善的报警功能及安全互锁装置。

◆具有超高温报警及欠温报警，MFC报警,反应室

压力报警，RF报警，高压空气压力报警，N2

压力报警，流报警等。