有多种型号,适用于不同工艺段的硅料清洗。
采用德国***新清洗工艺流程制作,旋转清洗方式,保证硅料各点均被腐蚀,清洗效果好。
装载量:15~30kg/篮,每小时~210kg的处理能力。
全程自动控制,自动配、补液,工艺槽自动循环,保证工艺药液的均匀。
全面完善的防腐措施,有效避免酸气、液的溢出,保证生产安全有效进行。
高速移载机械手,运行更平稳,定位更可靠,保证运行不产生晃动。
独特的制冷控制系统,能有效控制腐蚀反应温度。
先进的烘干技术,保证硅料各角度干燥。
更人性化的操作界面,采用先进触摸屏终端显示,智能化记忆控制,有效提高工作效率。
主要元器件采用国际知名品牌。