太阳能薄膜PVD溅射机

　　德国新格拉斯科技集团提供适用于CIGS/CIS薄膜太阳能电池真空镀膜的处理系统。这一新系统响应了光伏产业对于提升薄膜太阳能电池效率的开发和生产工具的需求,同时通过先进科技降低了生产成本。在光伏技术方面,集团开发并制造了镀膜系统,该系统可以镀特殊膜以及不同材料的多层膜。在线溅射系统对于如今的薄膜太阳能电池生产而言相当重要。

　　以正面透明或背面金属导电层以及各种材料组成的多层前驱体涂层为例,新系统的主要优势在于,它可以用来对玻璃衬底进行真空立式镀膜。集团借此得以进入快速成长的薄膜光伏市场,并将生产CIGS/CIS电池的加工系统提升到新的生产阶段。

主要特点

在空气中/干燥环境下预热衬底

完全垂直定向运输

适用于所有典型靶材的旋转阴极

在各种模式下进行磁控溅射,如可用的直流、脉冲式直流、双极和射频等

干式一级真空泵以及全磁5轴涡轮泵

迈斯纳冷阱及低温泵

适合所有工艺过程和缓冲腔的加热功能可选

真空外的传输系统

模块化工艺腔配置