VITRUM II Cover是VITRUM系列产品中的新工艺设备,专门用于以单一工序来清洁薄膜太阳能电池的后侧和边缘部位包裹的涂层。在用刷子和化学品清洁边缘和后侧的同时,活性层得到了工艺罩的保护。因此VITRUM II罩***适用于槽式镀膜工艺过程之后的清洁,以及对后侧和边缘不需要的覆膜进行蚀刻,如CdTe或CdS。
VITRUM II的模块化设计便于根据CIS、a-Si或CdTe技术(蚀刻、后侧和衬底边缘蚀刻、清洗以及单侧覆膜)整合不同工序。
主要特点
模块化设计
***多节省30%的成本
更容易的进入维护
占地面积较小
使用成本低
高产能
高可靠性(架动率>99%*)
标准衬底和客户定制的衬底***大达2,600毫米
高产能平行载具
可重复的工艺结果