ICP-PECVD镀膜设备

　　SINGULAR XP ICP-PECVD是一种全自动的创新模块化PECVD镀膜工具,适用于晶硅太阳能电池的大规模生产。此外,SINGULAR正越来越多地应用于适用于高效太阳能电池钝化层的开发,不论电池是采用传统的还是新的电池概念。借此,镀膜设备同时满足了当前和未来光伏电池生产的需求

　　SINGULAR系统具有自动化模块和镀膜模块。镀膜模块由多个可定制的真空腔组成。

　　创新的SINGULAR工具以静态在线式生产为基础,集在线式衬底传输和静态加工的优点于一身。它方便了复杂膜层的镀膜,例如AlOx/SiNy等不同材料的堆积。这一工具的关键特点在于ICP-PECVD技术。电感耦合等离子体(ICP)的激发可以在高沉积速度下完美控制SiNx、AlOx、SiOxNy等各种材料的膜层性能。

　　过程可变性、较小的工具占地面积,再加上低廉的总体“购置成本”,使得SINGULAR成为为现有生产线实现升级换代的理想之选。SINGULAR有助于开发新的制造工艺,使成熟生产平台生产的电池效能提高20%以上。

主要特点

业内成熟的多腔ICP-PECVD镀膜工具

低廉的购置成本

适合各种工序的模块化设计(如SiNx、SiOxNy、AlOx、a-Si...)

单层和多层镀膜能力

双面镀膜能力

占地面积小

电器柜与气体柜合二为一

有效利用电力、加工气体等原材料

低噪音(无需灰区)

工作时间长

便于操作

便于维修

在线式清洁工序(例如清洁a-Si)

定制工具配置,如使用TMB、磷化氢等特别气体,TMAl等有机前驱体

集成的自动化解决方案

可进行在线式集群操作

各类自动片架盒都适合