单面抛光蚀刻

　　德国新格拉斯科技集团携手世界各地的电池制造商共同改进生产工艺,在提高太阳能电池的效率的同时降低生产成本。电池概念方面的进展,如PERC/PERT,N型材料、全背面接触式电池或异质结太阳电池将推动晶硅太阳能电池的未来。

　　标准的硅太阳能电池的采用正反面制绒。为了优化电池内的陷光并改善带有局部接触的背面钝化的条件,***适宜采用平坦的背面。硅晶片正面和背面的结构不同,因而有必要实施单面蚀刻工序。集团为硅太阳能市场推出了背面钝化硅太阳能电池的一种新生产方案(例如PERC——钝化发射极和钝化背面电池)。这一方案是专门为了升级现有电池生产线而开发的。

　　为了按新格拉斯科技集团的方案升级生产线,需要增加三个生产工序。在镀膜之前,先用LINEAII的单面抛光蚀刻设备,通过湿法化学抛光来抛光背面。

主要特点

背面抛光:

增加内部反射

减少表面缺陷

减少复合中心

延长了少子寿命

提高了钝化质量