磷硅玻璃的在线式湿法设备

　　德国新格拉斯科技集团为标准及高效电池生产线上硅晶片的化学处理提供完整的干进/干出解决方案。当前和未来市场对于太阳能电池生产的设备、工艺以及材料的需求,为成本节约、生产能力、加工能力以及湿法化学生产的可集成性设定了新标准。工艺管理方面成熟概念的不断进步以及创新方式的集成为新一代蚀刻系统的开发奠定了基础。LINEAII是用来清洁和蚀刻晶体太阳能硅晶片的水平工作在线式湿法加工平台。德国新格拉斯科技集团的LINEAII将先进的运输系统、可持续的创新加工模块与成熟而有效的化学蚀刻和清洁工艺融为一体。

主要特点

有效、经济、灵活

所有在线式加工的平台

从研发工具到完全一体化的10通道设施

硅晶片表面上统一的介质流动

通道之间的流动条件稳定

由于腐蚀液用量小和高硅晶片产量高而实现经济节约

在硅晶片表面上实现快速介质交换

过程反应产品的快速排出

通过每条硅晶片通道旁的智能气流而降低排气量

模块化加工单元灵活而永不过时

方便集成新加的工艺选项