1. 设备概况
JD-1100型单晶炉,是软轴提拉型单晶炉,是在惰性气体环境中,以石墨电阻加热器,将一定纯度的硅材料熔化,用直拉法生长无位错单晶的设备,它可生产太阳能光伏电池和大规模集成电路所需要的高质量单晶。该设备***大可使用26″的热系统,投料180Kg,拉制10″或以下的单晶。
2. 技术参数
项目 | 参数 |
主加热器***大功率 | 210kW |
加热器***高加热电压 | 60V |
整机功率 | ≤295kW |
炉内***高温度 | 1600℃ |
生长晶体的直径范围 | ≤10″ |
熔料重量 | Max 170kg |
硅单晶等径长度 | ≥1900mm(8″) |
主机总高 | 8150mm |
整机占地面积 | 5500mm×6500mm |