结构与特点:
本机采用二工位轮流作业结构,具有连续不间断装片的特点,充分提高产能。
采用非接触式吸盘分体搬运硅片,降低对硅片的污染及碎片率。
定位导向机构,可快速,准确地更换硅片规格。
核心器件采用全球知名品牌产品,设备技术可靠,且运行平稳,保证了硅片质量。
自动化程度高,采用全进口伺服系统,耗能低,效率高。
适用硅片规格:125mm×125mm、156mm×156mm。
适用片盒规格:125mm×125mm 25片装、156mm×156mm 50片装。
多种规格的花篮和料盒兼容,不同规格的硅片快速切换。
设备台面采用进口铝板、主框架采用知名品牌合金材料,美观耐用。
控制系统
① 采用PLC可编程控制及彩色触摸屏,程序运行可靠,所有运行模式及参数均可在面板上设定、调整,所有故障在显示屏上都一目了然。
② 设备配置全套进口伺服系统进行精确定位,故障率低,性能稳定可靠,使用寿命长。
③ 提供全方位的运动保护和安全互锁。
④ 整机具备漏电保护系统。
⑤ 设备设有紧急停止及一键复位功能。