水床式装片机

结构与特点

1、设备为整体式框架结构，布局合理，操作方便，外观新颖；

2、工作原理是以流量和压力可调的水为介质柔性接触于硅片，利用水流动和斜面使硅片无阻力倒人盒内，有效避免人工装片时人为目素造成的破损，实现简易方便、准确快速地装盒；

3、硅片装片前先放置于水槽，水槽内的水通过加热系统保持一定的温度，做到人性化操作；

4、水系统为循环用水，经过初滤后再经滤袋式过滤机循环使用；

系统控制

1、采月PLC可编程控制器，程序运行可靠，功能齐全，各种运行模式均可在控制面板上调节、设定；

2、设备配置全套进口交流伺服系统进行高精度定位；

3、采用高灵敏度传感器进行扫描监控；

4、设备具有零位和工作位置的校准功能，校准快速、准确、精度高；

5、操作面板简单清晰，并配有各种故障及状志指示灯，方便操作；

安全与保障

1、采用水工作状态监控，设有水位自动调节功能；

2、运行过程设有极限位置报警；

3、设有装料保护传感器，防止工位与滑片槽板的碰撞；

4、设备设有紧急停止及复位停止功能；

5、具有整机漏电保护装置和接地端子