至2010年底,硅片总产能将达到1200MW。预计到2011年底,硅片产能将增加600W达到1800MW.硅片主要规格为:单晶硅片125X125mm,单晶硅片156X156mm,多晶硅片156X156mm。
品名 | 多晶娃片 |
导电类型 | P型 |
硅片正方尺寸(mm) | 156x156±0.5 |
硅片对角线(mm) | 219.2±0.5 |
硅片厚度(中心值)(μm) | 180±20;200±20 |
总厚度变化(μm) | ≤30 |
电阻率范围(Ωcm) | 0.8-3.0 |
掺杂元素 | 硼 |
碳含量(原子/立方厘米) | ≤8x1017 |
氧含量(原子/立方厘米) | ≤7x1018 |
少数载流子寿命(μs) | ≥2 |
表面质量 | 无裂纹、缺口、缺角、穿孔、亮点 |
翘曲度(warp/μm) | ≤50 |
邻变垂直度 | 90°±0.5 ° |
崩边(mm) | 弦长<1.0;深度小于0.5;每片不多于2个 |
线痕(μm) | ≤15 |