| 品牌 | 标先（BOVCEED） | 型号 | SSPH | 输出电流 | 1200A 2400A 3600A 4800A（A） |
| 输入电压 | AC380V三相四线制AC50-60HZ±10％（V） | 输出电压 | 空载1000-2000V（V） | 输出功率 | 12-25KW（W） |
| 产品认证 | ISO9001 | 物料编号 | 123456 | 加工定制 | 是 |
| 适用范围 | 金属工具膜层及装饰膜层制备 | 电源名称 | 高功率脉冲磁控溅射电源 | 冷却方式 | 风冷 |
| 脉冲频率 | ***高500HZ | 输出方式 | 直流窄脉冲 |
SSPH系列高功率脉冲磁控溅射电源技术规格 | |
SSPH系列高功率脉冲磁控溅射（HPPMS）电源工作于二级高频变换模式，直流脉冲输出。电源由供电及脉冲调制两部分构成，单个脉冲可输出2-8兆瓦的瞬时功率。高功率密度的阴极材料将产生高的金属离化率 ，并且不含靶材颗粒。电源适用于金属工具膜层及装饰膜层制备 | |
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电源功率范围 | 12-25KW |
输入电源 | AC380V三相四线制AC50-60HZ±10％ |
输出方式 | 直流窄脉冲 |
输出电压 | 空载1000-2000V |
输出电流 | 1200A2400A 3600A 4800A |
灭弧时间 | ≤3uS |
脉冲频率 | ***高500HZ |
负载持续率 | 100% |
冷却方式 | 风冷 |
使用环境 | 环境温度 0-40℃ 环境湿度 相对湿度≤85％ 空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好 |
说明：电源的输出功率可根据使用需要作相应调整 | |
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